半导体IDM和晶圆代工厂

支持定制传感器,覆盖广泛应用场景,确保产品安全、提高产量和最大生产率。

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INFICON半导体传感器采用了一系列过程传感技术,包括残余气体分析、光发射光谱测量法、石英晶体微天平(膜厚仪)、检漏仪、压力计和射频测量。配备专利软件,用户可以实时检测过程,并即时控制设备,以通过领先技术确保最高质量的产品。

随着半导体技术不断进步,市场对芯片的需求不断增加,弄清楚气体和等离子体如何与周围环境相互作用比以往任何时候都更加重要。无论是在加工过程中进行测量以确保产品安全和质量,还是在腔室清洁或工具维护过程中进行测量以尽量减少停机时间,或者监测减排系统以减少温室气体的排放,INFICON都是您最好的选择。INFICON提供各种类型的传感器,您可以根据具体应用场景进行定制。

INFICON传感器适用于全半导体制造周期。通过准确测量气体成分,支持早期阶段的研究和开发、前段制程/后段制程生产,以及subfab和全厂范围内的设施性能。应用范围涵盖后端洁净室模具分拣和组装,从而提高过程控制效率和生产力,实现高质量、可靠制造,以及最大生产力和最高效率的运行。

让我们密切合作,满足您的特殊需求

我们很高兴能在半导体创新中心与您并肩工作,在这里,我们的专业知识、解决方案和客户服务将共同推动半导体行业的成功。

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